ハースライナー
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イオンビーム電子銃パーツ(EBガン)
EBガンは高融点物質の蒸発が可能です。また、蒸発材料と反応しにくいため、純度の高い薄膜を形成することができます。イオンビーム電子銃では、ハースライナーに材料をチャージし、蒸発を行います。
材質: タングステン・モリブデン・タンタル・銅・カーボン・アルミナ・BNコンポジットなど
ハースライナーは、お客様のご希望される仕様に応じて製作販売します。上図を参考に各部寸法を材質をお問合せしてください。

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イオンビーム電子銃用として、このほかに電子発生用フィラメント電極なども取り揃えておりますのでお問合せしてください。

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